与火花机加工精度相关的因素很多，大致可分为机床因素和非机床因素。世界级品牌机在机床机械精度、脉冲电源精度、伺服控制精度(包括对机械运动、脉冲参数、走丝系统和工作液系统的控制)都已达到极高的水准。高档机无例外全都采用光栅尺全闭环系统，整机刚性得到普遍重视，而且随着进给丝杠的加粗，传动刚度也有大幅度提高。

影响火花机加工精度的机床因素，例如克服机床热变形方面，用热平衡、热对称、热隔离等各种措施减小机床热源和室温波动对机床几何精度的影响。普遍用恒温的工作液冷却立柱、上下机架、工作台面、工件，整机用机壳包严，形成隔离的小恒温室。可以说高档电火花加工机的几何精度和坐标磨床已完全相当了。说到脉冲电源和伺服控制的精度，可能中国用户还没有清楚的概念。所以一些低档机就可在这方面钻空子，而品牌机的优势就在于此。

影响火花机加工精度的非机床因素，例如操作人员的素质，人为的误操作等现在能用强大的工艺数据库和智能控制来消除。例如确认输入数据是否遗漏。但看不见测不了的工件材料内应力谁都没有办法考虑，所以加工工件的尺寸和形状与达到的加工精度---表面轮廓度TKM关系密切。各家所言可达到的加工精度是指对给定尺寸和形状的样件切割。例如高40mm，对边尺寸30mm的六棱柱体样件，就是指相对名义尺寸30mm的偏差，上中下三个截面共9个数据。注意这里要求的是绝对尺寸，要保证小间隙精密冲模的配合及互换性必须这样要求。

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