电火花线切割机床半导体材料是一种硬脆性材料，因其独特的物理和机械性能。已成为尖端科学技术中应用最为广泛的材料。世界各国在投入大量人力物力开发新材料的同时，对这些半导体材料的机械加工技术进行了广泛的研究。

电火花线切割机床是电火花加工机床的一种，它以根沿本身轴线运动的细金属丝作为工具电极，沿着给定的轨迹加工出相应几何图形的工件。电火花线切割加工的基本原理，是利用线电极对金属进行脉冲放电来蚀除金属的。线切割机床目前主要用来加工模具、样板、成形刀、异形窄槽或特种稀有贵重金属以及复杂形状的薄片，面目不需开制模具。只要利用线切割机床编出程序进行切割，保证每次加工出的形状尺寸与要求相同。

由于电火花线切割机床半导体材料的电阻率较高，因此其作为工件本身在回路中就可以看成是一个很大的等效电阻。它的体积热源作用是明显的。其较高的热传导系数，要求采用较窄的脉冲宽度，而较低的比热和较低的熔点。使得在相同的脉冲能量下，具有较高的加工速度。而采用电火花线切割机床多角度加工半导体材料，是可行的，而加工速度、光洁度、精度也比较高，都能达到使用要求，是机械加工无法比拟的。

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